“这就是极紫外光源？成功了？”</p>

许黎疑惑道。</p>

“是的，我们已经成功将该光源研制出来了，再经过我们多次重复试验以及对比论证，现在，过程极紫外光刻光源已经完成了研制，加上我能独立设计的透镜物镜及其光学系统，其性能超过目前国汉斯猫的5倍左右，如果能够配合好的其他光刻机部件，那该组装完成的光刻机可以综合提升35%左右，可以制作性能优秀的5纳米芯片......”</p>

徐教授兴奋地解释道。</p>

他还从来没有相关，一个工业明珠上的皇冠的一个核心部件，就这样被他们攻克了。</p>

只要给他们时间，燧人科技也能挤进全球半导体顶尖玩家的殿堂，成为EUV光刻机部件供应链的厂商之一。</p>

到时候也能在半导体领域上拥有自己的话语权，即使没有拥有全套的光刻机制造技术，但是起码不至于让国内这么的被动。</p>

“既然如此，我们也应该通知一下我们的盟友，想必他们也等急了。”</p>

许黎一笑。</p>

“好！”</p>

徐华应了一声。</p>

春城，长光电所</p>

陈所长此刻正愁着怎么改进光刻机呢。</p>

虽然之前已经通过花为的牵线搭桥和燧人科技搭上了，主要是合作改造现有光刻机。</p>

而这个改造的光刻机主要是28nm的光刻机，因为现在国内的光刻机也只能勉强达到28nm工艺。</p>

据魔都微电子透露，明年他们有望交付首台国产28纳米工艺浸没式光刻机。</p>

算是在刚好迈在高端光刻领域的门槛，也就是现在国内的光刻科技水平还停留在中端水平。</p>

根据光刻机工艺水平，光刻机主要划分为超高端、高端、中端、低端四个层次。</p>

首先，光源EUV13.5nm、节点5nm/7nm的光刻机是处于超高端层次的，全球只有AMSL这一家公司可以组装制造。</p>

其次，光源ArF+浸入式，节点在7~28nm处于高端层次的。</p>

最后，光源ArF/KrF/I-Line，且节点是65nm+或90nm+的，分别处于中端、低端层次。</p>

注意，这里的ArF/KrF指的是深紫外光刻光源。</p>

想要制作更好的的芯片，那就得造出更好的光源，比如极紫外光源（EUV）。</p>

即使是这种ArF 28nm光刻机和AMSL公司最先进的EUV5nm光刻机工艺有着天壤之别。</p>

但是也能将国内的光刻水平提升到世界先进水平，完全可以满足常见的射频芯片、蓝牙芯片、功放芯片、电器的驱动芯片等绝大部分逻辑芯片的要求，以及大部分数字芯片的要求。</p>

陈所长也听说三桑目前正在研究3nm芯片工艺的光刻机，也许很多人都以为很厉害，但是对于他这种业界的人自然知道其中的道道。</p>

现在的7nm或5nm芯片，不是从前的含义，最准确的是牙膏厂的命名，只是它也学坏了。</p>

芯片的纳米制程并不是真的几纳米，更多是一种更新迭代的说法。</p>

上一代可能是4nm，下一代根据摩尔定律乘以根号7，差不多3nm。</p>

以前的制程是指晶体管的宽度，现在则是晶体管的沟道宽度，就出了这种个位数的纳米制程。</p>

就像目前三桑研究的3nm光刻机，由于极紫外光刻技术受到光电效应的影响，可能其实际线精度在十几纳米或20纳米。</p>

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不过这种纳米制程的芯片如果不用EUV光刻机的话，也是弄不了的。</p>

虽然各厂家的命名方法各有所别，但也不是完全没有意义。</p>

长光机电所也在为接下来的14nm工艺光刻机刻苦攻坚。</p>

只是没有极紫外光源，想要做成这样的光刻机恐怕很难。</p>

“唉~”</p>

陈所长也知道这需要不长的时间，可能几年、几十年，甚至最坏的结果——失败。</p>

但是还是要继续攻研技术，要不然以后只能被人牵着牛鼻子走啊。</p>

就在陈所长满心忧愁的时候，一个电话响了起来，打断了他的思绪。</p>

他接起来一听，顿时眼睛睁瞪如灯笼般大小，惊声道：</p>

“什么?燧人科技的极紫外光源成功了？！”</p>