苏晨给这些科研人员讲解完之后。
他开始安排工作。
“你们三个,负责光刻机的透镜编排,需要光学方面的理论,我看过你们的资料,曾经修过光学的课程。”
“是,苏工!”
光刻机的光线不是直射来雕刻,而是需要多个镜片的折射,一边弱化一边加强。
当极紫外光控制到最合适的波段时,在雕刻到晶圆上!
这一步至关重要。
“你们几位负责液态金属锡的滴落路线计算,一定要确保光脉冲可以集中锡滴!”
“是,苏工!”
……
他和杨平一起安排了分工之后,就开始了正式工作。
很快,光刻机的内部硬件已经组装完毕。
又过了几天,光刻机已经成型。
他们开始了第一次芯片制造的测试。
“第1次芯片生产实验,启动!”
一声令下,晶圆被机械臂吸起来进入了机器。
然而还没等大家核算数据,机器突然黑屏。
“报告,液态金属锡未被集中,滴落面板导致短路!”
实验显然以失败告终!
大家并没有气馁。
因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的!
很快,第二次实验开始。
“报告,光刻波长控制异常,导致晶圆损毁!”
第三次。
“报告,芯片良率太差!”
第四次……
第五次……
经过很多次失败之后,日子平静了下来,实验变成了常态。
当然一次次的失败,距离成功也愈来愈近!
几天后。
研究院的工作人员早早的前来上班工作。
他们几个是半导体专业的高级工程师。
正式因为极紫外光刻机的项目,都聚集到了这里。
大家对苏晨都早有耳闻。
只不过大家都不看好这个年轻的工程师。
但凡是知道苏晨的,都知道他是占了杨院士的光。
他们认为,苏晨能在这个年纪拥有现在的成绩和地位,都是因为院士的偏心和照顾。
或许是背景,或许是关系户。
可是,能有什么办法呢?
在任何行业或任何领域,大家都离不开关系。
今天他们早早的来到了实验室,想要表现一番。
但是当他们进入实验室后,却骇然的发现净室居然没有上锁!
这要是有什么人误闯入这里,里面的光刻机材料都会报废的!
要知道,光刻机的任何部件都必须在非常苛刻的环境里来完成的。
很简单。
光刻机惧怕灰尘和光线。
首先,一粒灰尘的大小是数百微米。
什么概念?
一微米是1000纳米!
而光刻机工作的时候,是要用纳米光束来雕刻!
但凡有一粒灰尘,都会直接让实验中断!
光线就更别提了!
极紫外光刻机就是分离出了赤橙黄绿青蓝紫的紫光。
因为紫光波长最短!
有别的光,很容易会干扰雕刻的进行!
所以一定要在规定的环境之内才能完成!
而净室没有上锁,这就很可能让人误打误撞进入这里。
那后果将不堪设想。
于是几个高级工程师急忙换上防尘服,通过清洁检测之后进入了净室。
然而眼前的一幕让他们惊讶。
因为苏晨和杨院士在里面!
大家都面面相觑。
这是什么情况?
“杨院士,您来的真早!”